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第三百五十一章 投影式光刻技术(1 / 3)

作品:《重生之芯片大亨

晚上十二点,整个江夏电子厂的大部分车间都已经黑漆漆一片,只有值夜班的保卫科人员,在打着手电筒来回巡逻。

然而只在芯片车间所在的西北角,这里仍然灯火通明,那为了避免干扰光刻而独有的黄光,代表里面仍然处于紧张的工作状态,那黄澄澄如同雾蒙蒙一般的光晕,似乎也预示着光刻作为顶尖精密制造的神秘。

车间办公室里,总工程师张本松和一众工程师都围坐在桌前开会。

“的确这种投影式光刻机对比之前的接触式光刻机提高了相当大精度,而且采用凹透镜和凸透镜相结合的高斯型镜头,也能消除大部分场曲和像差。”

“除此之外还有光掩模的制作,以及烘焙刻蚀这些,也基本和接触式光刻步骤一样,不需要我们额外掌握,甚至于由于光掩模无需再直接接触光刻胶,烘焙的精度也变得不那么重要,这是我们的优势。”

“但同时我们也必须注意到,由于接触改投影,我们也面????????????????临光刻方面的新问题,首当其冲的就是光衍射问题……”

还是那个最烦人的原理,光不是沿一条直线传播,而是具有波粒二象性,尤其在通过窄缝以后,这种衍射现象更加严重。

“虽然经过今天一天的测试,以及和江夏电子厂的同志,还有远在宁海的同志交流以后,对我们有很大的启发,我们也收获了相当不错的成果,但这还远远不够,我希望大家明天能再接再厉,早日攻克投影式光刻技术!”

张本松看了一眼墙上的时钟,然后告诉大家今天时间已经很晚,示意大家都回去休息:“我知道大家都很为技术着急,但攻克技术并不是一朝一夕的事,身体才是革.命的本钱,大家都休息好了,才能以更加饱满的状态迎接新的挑战!”

总结完然后散会,一众技术工人和工程师们先行离开,张本松留在最后。

有人劝张本松也先去休息,但张本松却总是笑着表示:“我就差最后一点没记录完,这种事情可不能拖,你们先回去休息吧,我记录完就休息。”

张本松继续埋头,虽说他的右手经过医院的诊治已经好的差不多了,但仍然不好握笔,因此影响他记录工作。

很快一个小时过去,当张本松完成对今天工作的记录,他却没有离开办公室去休息,而是走向芯片车间,撕下自己记录的那张纸贴在洁净室外面的玻璃上。

这是张本松他们的常规操作,由于要确保洁净室内的绝对干净,因此就连纸张他们也避免带进去,但同时他们又需要根据自己的运算做出调整,只好从外面贴在玻璃上,将玻璃当成提示板用了。

熟练的取出一张打磨好的硅晶圆,按照步骤清洗涂胶烘焙。

尽管这些都是从接触式光刻沿用下来的步骤,张本松都做过好几十次,但他仍然小心翼翼,确保每一步都准确无误。

很快三个小时过去,当张本松带着隔热手套从烤箱里取出烘焙好的硅晶圆时,就听洁净室的玻璃杯轻轻敲响,张本松转头就看到几张熟悉的脸孔,那是自己手底下学习最认真的工程师和技术工人。